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材料、半导体专用真空手套箱

简要描述:

材料、半导体专用真空手套箱主要应用于材料半导体的真空无氧气氛或者环境下的隔离操作,包括进出料、称量、测试水分、理化测试、组装或者装填。

  • 产品型号:
  • 厂商性质:其他
  • 更新时间:2024-12-08
  • 访  问  量:90

详细介绍

基本工作原理

材料、半导体专用真空手套箱主要应用于材料半导体的真空无氧气氛或者环境下的隔离操作,包括进出料、称量、测试水分、理化测试、组装或者装填。真空手套箱主要由手套箱体(含全视窗钢化玻璃、铝制手套口、¢200x670乳胶手套等)、大小过渡舱、照明、移动底架、集成抽、充气管路等组成。

基本功能

1.视窗采用钢化玻璃全视窗,手套口开在视窗玻璃上,无观察死角。

2.
视窗法兰框机加工而成,视窗在高真空状态下可以承受大气压力而不变形,保证了箱体的气密性。

3.
手套口直径为¢200mm,手套为开模定制的乳胶手套,壁厚0.8mm,有效防止水氧的分子级渗漏。

4.
过渡舱门采用气弹簧平衡,开启方便。

5.
箱体、过渡舱、手套口抽真空及充气管路集成,方便使用。

 

材料、半导体专用真空手套箱基本参数

1.手套箱箱体板料304不锈钢,外置加强筋。

2.手套口口径¢200x670mm,配手套口盖、手套口抽真空管路、手套口密封胶套、固定喉箍。
3.
外置LED灯照明(箱体前上方)。
4.
箱体内置电源插板220V1KW
5.
电器控制盒(控制照明及真空泵)。
6.15mm
钢化玻璃(耐腐蚀)全视窗。
7.
真空手动球阀控制抽真空管路、充惰性气体管路、
8.2.5
级机械径向真空表(表盘直径¢60,显示相对真空度:-0.1MPa--0MPa

基本组成和配置

1. 手套箱箱体板料304不锈钢,外置加强筋。

2.手套口口径¢200x670mm,配手套口盖、手套口抽真空管路、手套口密封胶套、固定喉箍。
3.
外置LED灯照明(箱体前上方)。
4.
箱体内置电源插板220V1KW
5.
电器控制盒(控制照明及真空泵)。
6.15mm
钢化玻璃(耐腐蚀)全视窗。

7.
真空手动球阀控制抽真空管路、充惰性气体管路、
8.2.5
级机械径向真空表(表盘直径¢60,显示相对真空度:-0.1MPa--0MPa)。


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